光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価

書誌事項

タイトル別名
  • ヒカリ ・ ヒズミ フクゴウ MEMS センサ ニ ヨル ポリオキシメチレン ジュシ カコウ ヒョウメン ノ シツカン ヒョウカ
  • Texture Evaluation for Planed Surface of Polyoxymethylene Resin using Light- and Strain Sensitive MEMS sensor
  • フィジカルセンサ研究会 フィジカルセンサとそのプロセス技術および一般
  • フィジカルセンサ ケンキュウカイ フィジカルセンサ ト ソノ プロセス ギジュツ オヨビ イッパン

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