光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究

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  • ヒカリ ホウシャアツ シンドウ セイギョガタ プローブ オ リヨウ シタ マイクロ 3ジゲン ケイジョウ ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
  • Study on 3D form measurement of micro-components using the vibrating microprobe controlled by optical radiation pressure
  • 第13回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集
  • ダイ13カイ チノウ メカトロニクスワークショップ コウエン ロンブンシュウ

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