書誌事項
- タイトル別名
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- 150kHzタイ バースト ダイ デンリョク ICP(ICIS)ニ ヨル シリコンウエハエッチング
- Silicon wafer sample etching by ICIS with 150kHz frequency band
- プラズマ パルスパワー 放電 合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
- プラズマ パルスパワー ホウデン ゴウドウ ケンキュウカイ プラズマ ・ ホウデン ・ パルスパワー イッパン
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
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電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編] 2017 (1-4・6・7・9-17), 1-4, 2017-05-13
東京 : 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884733853312
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- NII論文ID
- 40021229493
- 40021230185
- 40021230024
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- NII書誌ID
- AN10320559
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles