Electromagnetically Actuated Quartz Glass Ring Resonator for Mode Matched Gyroscope
書誌事項
- タイトル別名
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- マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
- マイクロマシン ・ センサ システム ケンキュウカイ マイクロマシン ・ センサ システム ト ソノ プロセス ギジュツ オヨビ イッパン
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS
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電気学会研究会資料. MSS 2020 (20-45), 11-15, 2020-07
東京 : 電気学会