高感度バイオセンシングのための窒化シリコン方向性結合器型干渉計

書誌事項

タイトル別名

コウカンドバイオセンシングノタメノチッカシリコンホウコウセイケツゴウキガタカンショウケイ
Silicon nitride directional coupler interferometer for highly sensitive biosensing
フィジカルセンサケミカルセンサマイクロマシン・センサシステムバイオ・マイクロシステム合同研究会センサ・マイクロマシン一般および,センサ・マイクロマシンに共通する次世代ニーズ(ライフやグリーン・イノベーション等,ただしこれに限定しない)
フィジカルセンサケミカルセンサマイクロマシン・センサシステムバイオ・マイクロシステムゴウドウケンキュウカイセンサ・マイクロマシンイッパンオヨビ,センサ・マイクロマシンニキョウツウスルジセダイニーズ(ライフヤグリーン・イノベーショントウ,タダシコレニゲンテイシナイ)