高感度ひずみセンサ用Cr-N薄膜の横感度利用

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  • コウカンドヒズミ センサヨウ Cr-N ハクマク ノ ヨコ カンド リヨウ
  • Use of Transverse Sensitivity on Cr-N Thin Films for High Sensitive Strain Sensors
  • 交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム合同研究会・鉄道、センサ技術一般
  • コウツウ ・ デンキ テツドウ マイクロマシン ・ センサ システム ゴウドウ ケンキュウカイ ・ テツドウ 、 センサ ギジュツ イッパン

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