Cu₂Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画
書誌事項
- タイトル別名
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- Cu ₂ Oナノ リュウシ カンゲン ニ ヨル Cu ビサイ パターン ノ フェムトビョウ レーザ チョクセツ ビョウガ
- Direct writing of Cu micropattems using femtosecond laser reduction of Cu₂O nanoparticles
- マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
- マイクロマシン ・ センサ システム ケンキュウカイ マイクロマシン ・ センサ システム ト ソノ プロセス ギジュツ オヨビ イッパン
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS
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電気学会研究会資料. MSS 2017 (1・2・5-9), 1-4, 2017-06
東京 : 電気学会