SiCウェハ内部のパルスレーザ照射痕の観察
Bibliographic Information
- Other Title
-
- SiC ウェハ ナイブ ノ パルスレーザ ショウシャコン ノ カンサツ
- Trial study of SiC dicing induced by laser
Search this article
Journal
-
- 愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
-
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (18), 37-41, 2016-09
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520290884744589440
-
- NII Article ID
- 40020961873
-
- NII Book ID
- AA11484797
-
- ISSN
- 13449672
-
- NDL BIB ID
- 027659600
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- Data Source
-
- NDL Search
- CiNii Articles
