誘導熱プラズマの変調-無変調運転を併用した多結晶ダイヤモンド膜生成の検討

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  • Fabrication of Polycrystalline Diamond Films using Series Irradiation of Modulated and Non-Modulated Induction Thermal Plasmas
  • プラズマ パルスパワー 放電 合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
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