Siナノワイヤの機械特性に及ぼすFIB加工ダメージと超高真空アニールの影響
書誌事項
- タイトル別名
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- Si ナノワイヤ ノ キカイ トクセイ ニ オヨボス FIB カコウ ダメージ ト チョウコウシンクウ アニール ノ エイキョウ
- Effects of FIB-induced Damage and Ultra-high Vacuum Annealing on the Mechanical Properties of Silicon Nanowires
- 2013年度年次講演会
- 2013ネンド ネンジ コウエンカイ
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収録刊行物
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- 日本実験力学会講演論文集 : 年次講演会 = Proceedings of JSEM : annual Conference on Experimental Mechanics
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日本実験力学会講演論文集 : 年次講演会 = Proceedings of JSEM : annual Conference on Experimental Mechanics (13), 132-135, 2013
東京 : 日本実験力学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290884795065344
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- NII論文ID
- 40019821834
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- NII書誌ID
- AA11910104
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- ISSN
- 13464922
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- NDL書誌ID
- 024921397
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles