ループ型Ar/N₂/H₂誘導熱プラズマを用いたTi基板表面の高速窒化試験

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  • ループガタ Ar/N ₂/H ₂ ユウドウ ネツ プラズマ オ モチイタ Ti キバン ヒョウメン ノ コウソク チッカ シケン
  • Rapid Nitridation of Ti Surface using Ar/N₂/H₂ Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas
  • プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 環境浄化技術
  • プラズマ パルスパワー ホウデン ゴウドウ ケンキュウカイ カンキョウ ジョウカ ギジュツ

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