コンタクトモードAFMにおける表面形状学習型オブザーバの提案
Bibliographic Information
- Other Title
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- コンタクト モード AFM ニ オケル ヒョウメン ケイジョウ ガクシュウガタ オブザーバ ノ テイアン
- Proposal of surface topography learning observer for contact mode AFM
- 産業計測制御研究会 テーマ「ナノスケールサーボのための制御技術」
- サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ テーマ ナノスケール サーボ ノ タメノ セイギョ ギジュツ
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Journal
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- 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
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電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2007 (116-133), 7-12, 2007-09-14
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885030027648
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- NII Article ID
- 10019760704
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- NII Book ID
- AN10074226
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- NDL BIB ID
- 8964889
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
