イオンビームミキシング装置に取り付けた2次イオン質量分析装置(SIMS)について
Bibliographic Information
- Other Title
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- イオン ビーム ミキシング ソウチ ニ トリツケタ 2ジ イオン シツリョウ
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Abstract
記事分類: 化学・化学工業--化学実験・分析化学--光分析・電磁気分析
Journal
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- 工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University
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工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University (62), p139-143, 1987-04
東京 : 工学院大学
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885131099008
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- NII Article ID
- 40001176675
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- NII Book ID
- AN00080357
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- ISSN
- 03685098
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- NDL BIB ID
- 3143633
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles