シリコンにおける熱酸化積層欠陥の1200℃以上での成長と縮小
書誌事項
- タイトル別名
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- シリコン ニ オケル ネツ サンカ セキソウ ケッカン ノ 1200ドC イジ
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説明
記事分類: 物理学--分子・物性--結晶
収録刊行物
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- 宮崎大学工学部研究報告 / 宮崎大学工学部 編
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宮崎大学工学部研究報告 / 宮崎大学工学部 編 (26), p83-85, 1980-09
宮崎 : 宮崎大学工学部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885138520448
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- NII論文ID
- 40003600416
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- NII書誌ID
- AN00236445
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- ISSN
- 05404932
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- NDL書誌ID
- 2193613
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles