二硫化モリブデンスパッタ膜の摩擦特性〔英文〕
書誌事項
- タイトル別名
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- 2リュウカ モリブデン スパッタ マク ノ マサツ トクセイ エイブン
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説明
記事分類: 機械工学--機械の要素・機構学
収録刊行物
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- 生産研究 : 東京大学生産技術研究所所報 = Journal of Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
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生産研究 : 東京大学生産技術研究所所報 = Journal of Institute of Industrial Science, The University of Tokyo 29 (1), p22-24, 1977-01
東京 : 東京大学生産技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885147923456
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- NII論文ID
- 40002042083
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- NII書誌ID
- AN00127075
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- ISSN
- 0037105X
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- NDL書誌ID
- 1805607
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles