Limited Projection Topographyによるシリコン中のボロン拡散層の観察とコントラストの検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Limited Projection Topography ニヨル シリコンチ
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説明
記事分類: 物理学--分子・物性--結晶
収録刊行物
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- 宮崎大学工学部研究報告 / 宮崎大学工学部 編
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宮崎大学工学部研究報告 / 宮崎大学工学部 編 (26), p87-92, 1980-09
宮崎 : 宮崎大学工学部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885166015488
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- NII論文ID
- 40003600415
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- NII書誌ID
- AN00236445
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- ISSN
- 05404932
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- NDL書誌ID
- 2193612
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles