偏光解析法による薄膜の厚さ計測
書誌事項
- タイトル別名
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- ヘンコウ カイセキホウ ニ ヨル ハクマク ノ アツサ ケイソク
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抄録
記事分類: 物理学--光 ; 物理学--分子・物性
収録刊行物
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- 関東学院大学工学部研究報告 = Journal of technological researches / 関東学院大学工学部工学会 編
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関東学院大学工学部研究報告 = Journal of technological researches / 関東学院大学工学部工学会 編 33 (1), p33-36, 1989-11
横浜 : 関東学院大学工学部工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885175655168
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- NII論文ID
- 40000570202
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- NII書誌ID
- AN00047985
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- ISSN
- 03685373
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- NDL書誌ID
- 3649063
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles