Multi-Layer Planar Shielded Loop Coil with High Spatial Resolution for Measuring Magnetic Fields, and Its Application to High-Frequency Current Measurement

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  • 解説 多層平面コイルによる高周波・高空間分解能磁界計測とそのLSI電流計測への応用
  • カイセツ タソウ ヘイメン コイル ニ ヨル コウシュウハ コウクウカン ブンカイノウ ジカイ ケイソク ト ソノ LSI デンリュウ ケイソク エ ノ オウヨウ
  • 多層平面コイルによる高周波・高空間分解能磁界計測とそのLSI電流計測への応用
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