透過型電子顕微鏡のための半導体の観察試料の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- トウカガタ デンシ ケンビキョウ ノ タメ ノ ハンドウタイ ノ カンサツ シ
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抄録
記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
収録刊行物
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- 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編
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電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 21 (2), p133-136, 1986-11
東京 : 日本顕微鏡学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885248208000
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- NII論文ID
- 40002544914
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- NII書誌ID
- AN00153086
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- ISSN
- 04170326
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- NDL書誌ID
- 3105002
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles