窒化シリコン膜付きGaAs基板上へのInGaAs横方向成長
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- チッカ シリコン マク ツキ GaAs キバンジョウ エ ノ InGaAs ヨ
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Journal
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- 静岡大学電子工学研究所研究報告
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静岡大学電子工学研究所研究報告 (31), 1-8, 1996
浜松 : 静岡大学電子工学研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885254086656
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- NII Article ID
- 110007530132
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- NII Book ID
- AN00103204
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- ISSN
- 02863383
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- NDL BIB ID
- 4183868
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles