イオンビーム・デポジション法-1-
書誌事項
- タイトル別名
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- イオン ビーム デポジションホウ 1
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抄録
記事分類: 物理学--物理実験
収録刊行物
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- 大阪電気通信大学研究論集. 自然科学篇 = Memoirs of Osaka Electro-Communication University. Natural science
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大阪電気通信大学研究論集. 自然科学篇 = Memoirs of Osaka Electro-Communication University. Natural science (13), p107-116, 1977
寝屋川 : 大阪電気通信大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885261301248
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- NII論文ID
- 40000305186
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- NII書誌ID
- AN00030610
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- ISSN
- 03864987
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- NDL書誌ID
- 1910609
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles