光熱偏向分光法(PDS)によるイオン注入Si基板の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- コウネツ ヘンコウ ブンコウホウ PDS ニ ヨル イオン チュウニュウ Si
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説明
記事分類: 電気工学--電気材料・部品
収録刊行物
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- 電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
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電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 72 (7), p763-769, 1989-07
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885264836864
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- NII論文ID
- 40004788842
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- NII書誌ID
- AN10071294
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- ISSN
- 09151907
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- NDL書誌ID
- 3244739
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
