ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜
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- ギガビット ULSI ニ ムケタ ゴクウス シリコンサン チッカ マク
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Journal
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- 電子情報通信学会論文誌. C-1, エレクトロニクス. 1, 光・波動 = he Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1 / 電子情報通信学会 編
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電子情報通信学会論文誌. C-1, エレクトロニクス. 1, 光・波動 = he Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1 / 電子情報通信学会 編 82 (2), 35-41, 1999-02
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885275424768
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- NII Article ID
- 110003308819
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- NII Book ID
- AN10071283
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- ISSN
- 09151893
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- NDL BIB ID
- 4664277
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles