塩素およびトリクロロエチレンを用いた銅プリント基板のエキシマレーザーエッチング
書誌事項
- タイトル別名
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- エンソ オヨビ トリクロロエチレン オ モチイタ ドウ プリント キバン ノ
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抄録
記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品
収録刊行物
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- レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編
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レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 18 (3), p146-152, 1990-03
吹田 : レーザー学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885280601472
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- NII論文ID
- 40004209262
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- NII書誌ID
- AN00255326
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- ISSN
- 03870200
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- NDL書誌ID
- 3665957
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles