4フッ化炭素プラズマによる炭素材料の表面改質時の加熱効果
書誌事項
- タイトル別名
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- 4 フッカ タンソ プラズマ ニ ヨル タンソ ザイリョウ ノ ヒョウメン カ
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説明
記事分類: 工業材料・材料試験
収録刊行物
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- 炭素 / 炭素材料学会 編
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炭素 / 炭素材料学会 編 (166), p14-18, 1995-02
東京 : 炭素材料学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885317481984
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- NII論文ID
- 40002327690
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- NII書誌ID
- AN00140335
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- ISSN
- 03715345
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- NDL書誌ID
- 3593626
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
