解説 環状シロキサンのCVDを用いた粉体の反応型超薄膜コーティング
Bibliographic Information
- Other Title
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- カイセツ カンジョウ シロキサン ノ CVD オ モチイタ フンタイ ノ ハンノウガタ チョウハクマク コーティング
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Journal
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- 粉体工学会誌 = Journal of the Society of Powder Technology, Japan / 粉体工学会 編
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粉体工学会誌 = Journal of the Society of Powder Technology, Japan / 粉体工学会 編 36 (11), 833-842, 1999-11
京都 : 粉体工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290885324276480
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- NII Article ID
- 10013631444
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- NII Book ID
- AN00222757
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- ISSN
- 03866157
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- NDL BIB ID
- 4911358
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
