解説 環状シロキサンのCVDを用いた粉体の反応型超薄膜コーティング
Bibliographic Information
- Other Title
-
- カイセツ カンジョウ シロキサン ノ CVD オ モチイタ フンタイ ノ ハンノウガタ チョウハクマク コーティング
Search this article
Journal
-
- 粉体工学会誌 = Journal of the Society of Powder Technology, Japan / 粉体工学会 編
-
粉体工学会誌 = Journal of the Society of Powder Technology, Japan / 粉体工学会 編 36 (11), 833-842, 1999-11
京都 : 粉体工学会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520290885324276480
-
- NII Article ID
- 10013631444
-
- NII Book ID
- AN00222757
-
- ISSN
- 03866157
-
- NDL BIB ID
- 4911358
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles