形状及び表面粗さ測定における非接触高精度化
書誌事項
- タイトル別名
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- ケイジョウ オヨビ ヒョウメン アラサ ソクテイ ニ オケル ヒ セッショク
- 光学的非接触方式による高精密測定技術<特集>
- コウガクテキ ヒ セッショク ホウシキ ニ ヨル コウ セイミツ ソクテイ ギ
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収録刊行物
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- 精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌
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精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌 51 (4), p663-667, 1985-04
東京 : 精機学会 ; [1933]-1985
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291853591502208
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- NII論文ID
- 110001292133
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- NII書誌ID
- AN00130014
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- ISSN
- 03743543
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- NDL書誌ID
- 3026634
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles