書誌事項
- タイトル別名
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- ダイコウケイ SiCタンケッショウ キバン ノ カイハツ ドウコウ
- Present status and prospects of large diameter SiC single crystal substrates
- 小特集 パワー半導体結晶成長
- ショウトクシュウ パワー ハンドウタイ ケッショウ セイチョウ
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収録刊行物
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- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
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Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空 54 (6), 339-345, 2011-06
東京 : 日本真空協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291854881646336
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- NII論文ID
- 10029319122
- 40018938664
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- NII書誌ID
- AA12298652
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- ISSN
- 18822398
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- NDL書誌ID
- 11189139
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
