磁界圧着形マグネトロンスパッタ法によるa-Si薄膜の作成と特性
書誌事項
- タイトル別名
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- ジカイ アッチャクケイ マグネトロン スパッタホウ ニ ヨル a Si ハクマ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会 編
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電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会 編 69 (10), p1239-1247, 1986-10
東京 : 電子通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291854902424576
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- NII論文ID
- 40002556905
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- NII書誌ID
- AN00153304
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- ISSN
- 03736113
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- NDL書誌ID
- 3104984
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles