フレキシブル低誘電率膜用の大面積多孔ポリイミド製造プロセスの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- フレキシブル テイユウデンリツマクヨウ ノ ダイ メンセキ タコウ ポリイミド セイゾウ プロセス ノ カイハツ
- 特集 革新的製造技術の新展開
- トクシュウ カクシンテキ セイゾウ ギジュツ ノ シン テンカイ
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収録刊行物
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- ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering
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ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 58 (11), 837-839, 2013-11
川崎 : 化学工業社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855081893376
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- NII論文ID
- 40019842209
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- NII書誌ID
- AN00074423
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- ISSN
- 03871037
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- NDL書誌ID
- 024956607
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles