薄膜作製技術
書誌事項
- タイトル別名
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- ハクマク サクセイ ギジュツ
- 先端材料の新技術--開発・製造・評価 ; 材料化プロセス
- センタン ザイリョウ ノ シンギジュツ カイハツ セイゾウ ヒョウカ ; ザイリョウカ プロセス
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 化学増刊
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化学増刊 (112), p95-110, 1987-10
京都 : 化学同人
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855105112576
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- NII論文ID
- 40000397515
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- NII書誌ID
- AN00037380
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- ISSN
- 03685470
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- NDL書誌ID
- 3155805
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles