SIサイリスタを用いたナノパルス電源による大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜成膜

Details 詳細情報について

• CRID

  1520291855224651776

• NII Article ID

  40006631497

• ISSN

  13405853

• NDL BIB ID

  7248750

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/7248750

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7248750

• Text Lang

  ja

• NDL Source Classification

  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)

• Data Source

  • NDL Search
  • CiNii Articles