Development of An Ion Beam CVD Apparatus
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of An Ion Beam CVD Apparatu
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 大阪工業技術試験所報告 / 工業技術院大阪工業技術研究所 編
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大阪工業技術試験所報告 / 工業技術院大阪工業技術研究所 編 (371), p1-65, 1987-03
池田 : 工業技術院大阪工業技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855609033600
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- NII論文ID
- 40000297248
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- NII書誌ID
- AN00028539
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- ISSN
- 04721438
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- NDL書誌ID
- 3133550
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles