有機絶縁膜の電着と振動MEMSデバイスへの適用
書誌事項
- タイトル別名
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- ユウキ ゼツエンマク ノ デンチャク ト シンドウ MEMS デバイス エノ テキヨウ
- 特集 MEMSデバイス技術
- トクシュウ MEMS デバイス ギジュツ
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収録刊行物
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- NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編
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NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編 19 (7), 11-14, 2007-07
東京 : 電気通信協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855807744256
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- NII論文ID
- 40015563130
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- NII書誌ID
- AN1013019X
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- ISSN
- 09152318
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- NDL書誌ID
- 8880847
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles