ナノ結晶Ni-Cr合金RFスパッタ膜の微細組織と硬度
Bibliographic Information
- Other Title
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- ナノ ケッショウ Ni Cr ゴウキン RF スパッタ マク ノ ビサイ ソシキ ト コウド
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Journal
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- 高温学会誌 = Journal of High Temperature Society
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高温学会誌 = Journal of High Temperature Society 27 (6), 306-313, 2001
大阪 : 高温学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855834763392
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- NII Article ID
- 10007395687
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- NII Book ID
- AN00080051
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- ISSN
- 03871096
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- NDL BIB ID
- 5996857
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN