Sub-keV級低エネルギーイオン源の開発
書誌事項
- タイトル別名
-
- Sub-keVキュウ テイエネルギーイオン ゲン ノ カイハツ
- Development of the Ion Source for Low Energy Ion Beam under 1 keV
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 日新電機技報 = The Nissin electric review : 日新電機グループ技術論文誌
-
日新電機技報 = The Nissin electric review : 日新電機グループ技術論文誌 59 (2), 62-65, 2014-10
京都 : 日新電機生産技術本部知的財産部
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520291855906567808
-
- NII論文ID
- 40020316096
-
- NII書誌ID
- AN0033385X
-
- ISSN
- 05495377
-
- NDL書誌ID
- 026009278
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles