電界砥粒制御技術を用いた高能率脆性材料向け研磨装置の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- デンカイトリュウ セイギョ ギジュツ オ モチイタ コウノウリツゼイセイ ザイリョウ ムケ ケンマ ソウチ ノ カイハツ
- Development of a new polishing method for brittle materials using controlled slurry arrangement under AC electric field
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収録刊行物
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- 業務年報 = Annual report of Akita R&D (Research & Development) Center / 秋田県産業技術総合研究センター 編
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業務年報 = Annual report of Akita R&D (Research & Development) Center / 秋田県産業技術総合研究センター 編 2008年度 55-58, 2008
秋田 : 秋田県産業技術総合研究センター
