電界砥粒制御技術を用いた高能率脆性材料向け研磨装置の開発

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  • デンカイトリュウ セイギョ ギジュツ オ モチイタ コウノウリツゼイセイ ザイリョウ ムケ ケンマ ソウチ ノ カイハツ
  • Development of a new polishing method for brittle materials using controlled slurry arrangement under AC electric field

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