有機膜へのスパッタダメージの可視化法

書誌事項

タイトル別名
  • ユウキ マク エ ノ スパッタダメージ ノ カシカホウ
  • Visualization of sputtering damage to an organic film
  • 特集 有機ELの新展開
  • トクシュウ ユウキ EL ノ シン テンカイ

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