難研磨材料のスラリーレスプラズマ援用研磨と電気化学機械研磨
書誌事項
- タイトル別名
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- ナン ケンマ ザイリョウ ノ スラリーレスプラズマ エンヨウ ケンマ ト デンキ カガク キカイ ケンマ
- Slurryless Plasma-Assisted Polishing and Electrochemical Mechanical Polishing of Difficult to Polish Materials
- 特集 難加工材における最先端加工技術
- トクシュウ ナン カコウザイ ニ オケル サイセンタン カコウ ギジュツ
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収録刊行物
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 88 (6), 440-444, 2022-06
東京 : 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520292572092329984
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 032224801
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- データソース種別
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- NDL
