低角度N⁺イオンビーム照射によるPTFE表面のCu薄膜付着性の改善
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- Other Title
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- テイカクド N ⁺ イオンビーム ショウシャ ニ ヨル PTFE ヒョウメン ノ Cu ハクマク フチャクセイ ノ カイゼン
- Improvement of Adhesiveness of Cu Films on a PTFE Surface Irradiated with Low-Angle N⁺ Ion Beam
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Journal
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- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
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電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials 143 (7), 244-250, 2023-07
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520296962523979392
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- NII Book ID
- AN10136312
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- ISSN
- 03854205
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- NDL BIB ID
- 032951889
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
