シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS振動子の1 Pascal真空封止
書誌事項
- タイトル別名
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- シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング ギジュツ ニ ヨル MEMS シンドウシ ノ 1 Pascal シンクウ フウシ
- ONE PASCAL VACUUM SEALING OF MEMS RESONATOR BY SILICON MIGRATION SEALING (SMS) BASED WAFER-LEVEL PACKAGING
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 40 5p-, 2023-11
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
