Development of a Compact Deep-Ultraviolet Laser Source for Precision Microstructure Measurement
書誌事項
- タイトル別名
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- 微細構造計測に向けた小型深紫外レーザー光源の開発
- ビサイ コウゾウ ケイソク ニ ムケタ コガタシンシガイ レーザー コウゲン ノ カイハツ
- 特集 次世代半導体デバイスの開発に貢献する分析・計測技術 2023堀場雅夫賞
- トクシュウ ジセダイ ハンドウタイ デバイス ノ カイハツ ニ コウケン スル ブンセキ ・ ケイソク ギジュツ 2023 ホリバ マサオショウ
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収録刊行物
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- Readout : Horiba technical reports
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Readout : Horiba technical reports (58), 36-40, 2024-05
京都 : 堀場製作所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520300910361332864
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- NII書誌ID
- AN1019009X
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- ISSN
- 09159916
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- NDL書誌ID
- 033590908
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
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- データソース種別
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- NDL
