Cr-NおよびFe-Pd薄膜のひずみ・温度同時計測触覚センサへの応用
Bibliographic Information
- Other Title
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- Cr-N オヨビ Fe-Pd ハクマク ノ ヒズミ ・ オンド ドウジ ケイソク ショッカク センサ エ ノ オウヨウ
- Application of Cr-N and Fe-Pd Thin Films to Tactile Sensors for Simultaneous Strain and Temperature Measurement
- 特集 ヒト感性デバイスのための機能性材料と応用技術
- トクシュウ ヒト カンセイ デバイス ノ タメ ノ キノウセイ ザイリョウ ト オウヨウ ギジュツ
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Journal
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- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
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電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 144 (9), 271-281, 2024-09
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520301684646340224
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- NII Book ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13418939
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- NDL BIB ID
- 033713399
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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