二重トンネル接合層を用いた15nmプラナーバルクSONOS型メモリー素子
Bibliographic Information
- Other Title
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- 2ジュウ トンネル セツゴウソウ オ モチイタ 15nm プラナー バルク SONOSガタ メモリー ソシ
- 15nm planar bulk SONOS-type memory with double junction tunnel layers
- シリコン材料・デバイス
- シリコン ザイリョウ デバイス
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107 (549), 1-5, 2008-03-14
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357008263424
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- NII Article ID
- 110006885181
- 110006793631
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
