GaN薄膜のアンモニアMBE成長におけるインジェクターの加熱効果
Bibliographic Information
- Other Title
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- GaN ハクマク ノ アンモニア MBE セイチョウ ニ オケル インジェクター ノ カネツ コウカ
- 小特集テーマ 進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状
- ショウトクシュウ テーマ シンテン スル チッカブツ ハンドウタイ ヒカリ デンシ デバイス ノ ゲンジョウ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 102 (117), 53-56, 2002-06-13
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357037657344
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- NII Article ID
- 110003201573
- 110003306668
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles