光音響法によるSiイオンを注入したシリコン基板の熱伝導率とアニール特性の研究

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  • ヒカリ オンキョウホウ ニ ヨル Si イオン オ チュウニュウ シタ シリコン キバン ノ ネツ デンドウリツ ト アニール トクセイ ノ ケンキュウ

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