平成27年度SIT総合研究所研究成果報告書 集束陽子線描画による三次元柔構造デバイスの創出、統合および超実装工学の推進
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- ヘイセイ 27ネンド SIT ソウゴウ ケンキュウジョ ケンキュウ セイカ ホウコクショ シュウソク ヨウシ センガキガ ニ ヨル サンジゲンジュウコウゾウ デバイス ノ ソウシュツ 、 トウゴウ オヨビ チョウジッソウ コウガク ノ スイシン
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- 特別教育・研究報告集
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特別教育・研究報告集 388-393, 2015
東京 : 芝浦工業大学連携推進部
