5端子MOSFET型応力検出素子の応力検出動作の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- 5 タンシ MOSFETガタ オウリョク ケンシュツ ソシ ノ オウリョク ケンシュツ ドウサ ノ ヒョウカ
- An Evaluation of 5-Electrode MOSFET strain Sensor
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収録刊行物
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- 回路とシステムワークショップ論文集 Workshop on Circuits and Systems
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回路とシステムワークショップ論文集 Workshop on Circuits and Systems 26 346-350, 2013-07
[東京] : [電子情報通信学会]