超硬質薄膜形成技術の新展開<特集>
Bibliographic Information
- Other Title
-
- チョウ コウシツ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ シン テンカイ トクシュウ
Search this article
Abstract
記事分類: 金属工学・鉱山工学--金属加工--表面処理 ; 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス
Journal
-
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
-
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 53 (10), p1503-1543, 1987-10
東京 : 精密工学会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520572357345158912
-
- NII Article ID
- 40004585676
-
- NII Book ID
- AN1003250X
-
- ISSN
- 09120289
-
- NDL BIB ID
- 3157981
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles